翻转式晶圆自动传输装置[实用新型专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：翻转式晶圆自动传输装置专利类型：实用新型专利发明人：吴功

申请号：CN200920010069.7申请日：20090109公开号：CN201345358Y公开日：20091111

摘要：一种翻转式晶圆自动传输装置，它克服了现有技术无法在制程的狭小空间作复杂动作等缺点，包括机架、上料平台、风箱体和手臂机构，其技术要点是：手臂机构的下手臂通过翻转机构连接抓取机构，抓取机构的固定板通过翻转轴铰接在翻转基座上，抓取机构的抓取电机通过涡轮蜗杆驱动抓取连杆带动夹爪沿抓取滑轨往复移动，抓取机构上的定位机构设置可调定位块。该装置结构设计合理，在制程间传输运行平稳，动作更灵活可靠，拓展了适用范围，使之能实现晶圆匣在0－90度范围翻转，且随意设定倾斜角度，以完成晶圆水平或垂直状态的自动传输，同时又能适应在制程设备狭小空间作更复杂动作，并在遇到外界干涉时可挠性停止，达到精确控制的传输效果。

申请人：富创得科技(沈阳)有限公司

地址：110168 辽宁省沈阳市浑南新区飞云路18号

国籍：CN

代理机构：沈阳科威专利代理有限责任公司

代理人：佩德

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