(12)发明专利申请
(21)申请号 CN202010009769.5 (22)申请日 2020.01.06
(71)申请人 福建晶安光电有限公司
地址 362411 福建省泉州市安溪县湖头镇横山村光电产业园
(10)申请公布号 CN111070449A
(43)申请公布日 2020.04.28
(72)发明人 余剑云;刘聚斌;陈星火 (74)专利代理机构
代理人
(51)Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
(54)发明名称
一种晶体加工工艺
(57)摘要
本发明涉及一种晶体加工工艺,为了解决
现有工艺200KG及以上重量的晶体在掏棒时掏棒刀具长度过长,掏棒过程中刀具偏摆造成晶体开裂、晶棒角度异常和刀具易变形问题,本发明设计一种加工工艺:将晶体沿平行于所需掏棒面的方向切成至少两部分,对切开的各部分晶体定向、晶体掏棒、晶棒切头尾、滚外圆、开平边、缺陷检验和切割成晶圆,避免刀具长度过长,降低晶体开裂和晶棒角度异常的比例,提升加工良
率,减缓刀具的消耗速度,降低晶体加工成本。
法律状态
法律状态公告日
2020-04-28 2020-04-28 2020-05-22
公开 公开
实质审查的生效
法律状态信息
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法律状态
实质审查的生效
权利要求说明书
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说明书
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