专利名称：支撑装置、光刻装置和器件制造方法专利类型：发明专利
发明人：S·N·L·唐德斯,M·菲恩,C·A·霍根达姆,M·霍本,J·H·W·
雅各布斯,A·H·凯沃特斯,R·W·L·拉法雷,J·V·奥弗卡姆普,N·坦凯特,J·S·C·韦斯特拉肯,A·F·J·德格罗特,M·范贝杰纳姆
申请号：CN201710708172.8申请日：20130517公开号：CN107367907A公开日：20171121
摘要：一种用于光刻装置的支撑装置(60)，具有物体保持件(61)和在物体保持件径向外侧的提取主体(65)。物体保持件被配置为支撑物体(W)。提取主体包括被配置为从支撑装置的顶面提取流体的提取开口(66)。提取主体与物体保持件间隔开，使得提取主体与物体保持件基本解耦。提取主体包括突起(30)，所述突起被配置为使得其围绕物体保持件，并且使得在使用中液体(32)的层保留在突起上且接触支撑在物体保持件上的物体。
申请人：ASML荷兰有限公司
地址：荷兰维德霍温
国籍：NL
代理机构：北京市金杜律师事务所
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