一种精密轴系圆光栅光学分度方法

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201210161357.9 （22）申请日 2012.05.23 （71）申请人 北京理工大学

地址 100081 北京市海淀区中关村南大街5号

（10）申请公布号 CN102672537A

（43）申请公布日 2012.09.19

（72）发明人 惠梅;邓年茂 （74）专利代理机构

代理人

（51）Int.CI

B23Q16/12;

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种精密轴系圆光栅光学分度方法

（57）摘要

本发明是一种精密轴系圆光栅光学分度方

法，以精密回转轴组合圆光栅的结构形式取代传统的光学分度头，以圆光栅的非接触式光学系统而非传统的机械微动装置实现精密轴系回转的微小角度分度计量，不需要影响分度精度的传动机构以及进行光学角度细分放大的光路系统。圆光栅的莫尔条纹信号接近正弦，适合于电路处理，测量角度位移的莫尔条纹可用光电转换以数字形

式显示并进行计算处理，精密轴系由电动机驱动，整个系统实现了自动分度和程序控制。该系统可起到精密轴系主轴回转角度的精密光学分度作用，并用于对光电传感器进行小角度切线运动及精度测试与标定。克服了以往光学分度系统的不足，结构紧凑，调节方便灵活，对工作环境要求较低，且成本较低。

法律状态

法律状态公告日2012-09-19 2012-09-19 2015-05-13 2015-05-13 2018-11-23

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效

发明专利申请公布后的驳回法律状态

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效

发明专利申请公布后的驳回

权利要求说明书

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说明书

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