专利名称：闪存堆叠系统和方法专利类型：发明专利
发明人：B·哈巴,L·默罕默德,J·A·德拉克鲁斯申请号：CN201980036081.1申请日：20190502公开号：CN112204737A公开日：20210108
摘要：以晶圆对晶圆方式执行的三维堆叠技术减少了生产时的机器运动。晶圆使用金属迹线进行处理，并且在切成单独管芯堆叠之前进行堆叠。堆叠的每个层的迹线经由无电解镀而互连。
申请人：伊文萨思公司
地址：美国加利福尼亚州
国籍：US
代理机构：北京市金杜律师事务所
代理人：杨飞
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