专利名称：一种低压高温扩散炉专利类型：实用新型专利
发明人：秦崇德,方结彬,石强,黄玉平,何达能,陈刚申请号：CN201521010313.1申请日：20151207公开号：CN205347629U公开日：20160629
摘要：本实用新型公开了一种低压高温扩散炉，包括：炉体，所述炉体两侧设有对炉体加热的高温加热区域；设在炉体内装载硅片的晶舟，晶舟材质为石英或碳化硅；枢接在炉体一侧的真空阀门；与真空阀门相连接的真空泵；设在炉体另一侧并与炉体相连接的石英排气管；石英进气管，所述石英进气管设在炉体内并设有若干排气孔。本实用新型具有如下有益效果：本实用新型一种低压高温扩散炉与传统扩散炉相比,采用扩散炉与真空泵相连，使得扩散炉内处于低压真空状态，反应气体可达稳态稳流,装载硅片的晶舟材质为石英或碳化硅,使得硅片受热更均匀,具有可提高产量、提高太阳能电池的光电转换效率等优点，同时具有设计新颖、制作简单、适合大批量生产等优点。
申请人：广东爱康太阳能科技有限公司
地址：528100 广东省佛山市三水工业园区C区69号
国籍：CN
代理机构：佛山市中迪知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：张伶俐
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