静电设施点检记录表
月份:
表单编号 / 版本:
防静电托盘 表面电阻 表面电阻
检查内容
编号 ( 位置)
工作椅
表面电阻
对地电阻
周转箱 表面电阻
地 面
系统电阻 部门/ 线别
备注:
1. 本表要测项目每月测一次 , 每次抽样数量不少于 10组, 静电测试不合格及时改善.
10
5
9
2. 工作椅应满足 ESD技术指标：表面电阻≤ 1×10 Ω ，对地电阻在 7.5 × 10 Ω～1×10 Ω范围内; 3. 静电箱静电系数要求：表面电阻在 7.5 ×10 5Ω ～ 1× 10 10 平方范围内 4. 防静电托盘：表面电阻 1×10 5Ω ～ 1× 10 10 平方范围内
5. 防静电地板表面电阻在 1×10 5Ω ～ 1× 10 10 Ω 范围内，系统电阻（对地电阻）在1× 105 Ω ～ 1× 109 Ω 范围内。
测试人：
审核：
核准：
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