一种调焦调平测量方法

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN2013100094.6 （22）申请日 2013.01.11

（71）申请人 上海微电子装备有限公司

地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号

（10）申请公布号 CN103926799A

（43）申请公布日 2014.07.16

（72）发明人 乔海洋;张青云;王帆

（74）专利代理机构 北京连和连知识产权代理有限公司

代理人 王光辉

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（）发明名称

一种调焦调平测量方法

（57）摘要

本发明提出一种调焦调平测量方法，由同

一光源分束出两束测量光线以相同的入射角入射到硅片表面同一位置，形成两束不同的反射光，其特征在于，该方法包括如下步骤：步骤一：光源分束；步骤二：分束后的光信号以相同角度不同方向入射到硅片面同一位置；步骤三：测量两束反射光光强；步骤四：分别对所述两束反射光光强信号进行归一化处理后进行傅立叶变换，提取一倍频信号并取均值，根据一倍频信号均值和

硅片离焦量之间的映射关系计算离焦量ΔZ。与现有技术方案相比，本发明消除了由于硅片表面反射率非均匀性对调焦调平测量结果的影响，更有效的提高了调焦调平技术的工艺适应性能力。

法律状态

法律状态公告日

2014-07-16 2014-07-16 2014-07-16 2014-07-16 2014-07-16 2014-08-13 2014-08-13 2014-08-13 2014-08-13 2014-08-13 2017-08-29 2017-08-29 2017-08-29 2017-08-29 2018-02-02 2018-02-02 2018-02-02 2018-02-06 2018-02-06 2018-02-06 2018-02-06

法律状态信息

公开 公开 公开 公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 实质审查的生效 实质审查的生效 实质审查的生效 专利权的视为放弃 专利权的视为放弃 专利权的视为放弃 专利权的视为放弃 著录事项变更 著录事项变更 著录事项变更 发明专利更正 授权 发明专利更正 授权

法律状态

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权利要求说明书

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说明书

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