专利名称：激光热处理装置和处理方法专利类型：发明专利发明人：周炯,李志丹,张俊申请号：CN201711352251.6申请日：20171215公开号：CN109935532A公开日：20190625
摘要：本发明提供了一种激光热处理装置，包括：激光器、光源调整模块、工件台模块和工件旋转模块，所述工件旋转模块安装在所述工件台模块上，所述激光器发出的光经所述光源调整模块调整后形成光斑，所述工件台模块带动工件接收所述光斑，所述工件旋转模块配置为带动所述工件旋转以使所述光斑照射区域覆盖所述工件的待处理区域。本发明还提供了一种激光热处理装置和处理方法,通过工件旋转模块带动工件旋转实现对工件的激光热处理，产率将直接和工件台转速，以及旋转的圈数直接相关，提升了热处理效率。
申请人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
地址：201203 上海市浦东新区张东路1525号
国籍：CN
代理机构：上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
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