专利名称：图像处理方法、图像处理系统及缺陷检测装置专利类型：发明专利发明人：罗聪
申请号：CN201711066359.9申请日：20171102公开号：CN107784660A公开日：20180309
摘要：本发明涉及图像处理方法、图像处理系统及缺陷检测装置，用于对晶元进行光学扫描后形成的原始图像(raw image)进行处理。所述图像处理系统包括图像边缘识别单元、图像分割单元、图像增强单元、图像去噪单元、图像标记单元以及数据存储单元，以便从原始图像中获得目标缺陷例如气泡缺陷的位置和尺寸信息。所述缺陷检测装置包括所述图像处理系统。通过本发明提供的图像处理方法、图像处理系统及缺陷检测装置，可以降低人工判断缺陷的成本以及误差，提高图像处理效率，并且可以及时有效地确定工艺或机台的异常情况，有助于减少由于工艺或机台的异常导致的损失。
申请人：武汉新芯集成电路制造有限公司
地址：430205 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号
国籍：CN
代理机构：上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
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