气管线路点检标准
气管线路点检标准主要包括一下几个方面。
水分检测的目的主要是为了避免管道内水含量过高时，会发生化学反应，对制程造成影响。
氧分检测的目的主要是为了避免管道内氧含量过高时，会发生化学反应，对制程造成影响。例如，芯片在生产过程中，原本大气中O2会和Si产生化学反应：O2+Si=SiO2,为原始的氧化成，如果管道内的氧含量过高，原始的氧化层会超出原本已经计算好的厚度，如此会严重影响接下来各阶段的制程。
颗粒检测主要是检测管道内微粒子的粒径大小和数量多少。如果管道内微粒子过多会对Wafer良率影响很大。
检测标准：水分检测小于等于10ppb。 氧分检测小于等于10ppb。 颗粒检测小于等于5pcs。
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