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一种便于硅片同步脱落的硅棒粘接装置[发明专利]

来源:好走旅游网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:一种便于硅片同步脱落的硅棒粘接装置专利类型:发明专利

发明人:王迎春,王桂奋,杨静,杨瑞祥,张斌,杨健申请号:CN201110089004.8申请日:20110408公开号:CN102191564A公开日:20110921

摘要:一种便于硅片同步脱落的硅棒粘接装置,其中的承载粘接台为中空结构,在上支承板和下端面之间设有容腔,在支承侧面和下端面上设有减重孔,在上支承板上等间距地设有导热金属镶条。由于将承载粘接台设计成中空结构,在上支承板上等间距地镶嵌了若干根导热金属镶条,在上支承板的下方增设了容腔,在支承侧面和下端面上开设了减重孔,这样大幅度地减轻了承载粘接台的自身重量,缩短了承载粘接台整体吸热的速度,当放入高温水中时,承载玻璃板和硅片组会同步脱落,能大幅度降低脱胶取片过程中的硅片破损率,降低了取片工序的能源消耗;优化了承载粘接台结构,提高了上支承板的抗翘曲变形能力,使得承载粘接台正常使用寿命。

申请人:金坛正信光伏电子有限公司

地址:213251 江苏省常州市金坛市直溪镇工业集中区1号

国籍:CN

代理机构:常州市维益专利事务所

代理人:周祥生

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