专利名称：研磨装置及研磨方法专利类型：发明专利发明人：关正也,户川哲二申请号：CN201410043555.4申请日：20140129公开号：CN103962939A公开日：20140806
摘要：一种研磨装置，具有：对基板(W)进行保持并使其旋转的基板保持部(3)；将研磨件(38)按压抵接于基板(W)而对该基板进行研磨的按压部件(51)；对按压部件(51)的按压力进行控制的按压力控制机构(56)；以及对按压部件(51)的研磨位置进行限制的研磨位置限制机构(65)。作为研磨件(38)，使用研磨带或固定磨料。采用本发明，能精密地控制基板的研磨量。
申请人：株式会社荏原制作所
地址：日本国东京都大田区羽田旭町11番1号
国籍：JP
代理机构：上海市华诚律师事务所
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