专利名称：用于分割材料的装置和方法专利类型：发明专利
发明人：拉尔夫·哈默,拉尔夫·格鲁斯兹恩斯基,安德烈·克莱恩
维希特,提罗·弗拉德
申请号：CN200710106581.7申请日：20011017公开号：CN101066616A公开日：20071107
摘要：本发明涉及一种用于将材料切割成单个晶片的方法和装置，所述装置包括：一个切割圆盘，切割圆盘具有一个同心的孔，孔的边缘形成一个切割边缘，切割圆盘可以围绕其中心轴旋转以用于切割材料，一个定位装置，用于相对于切割圆盘对待分割材料进行定位，使得在切割时切割圆盘旋转地穿过材料，以便从材料上切割下来一个单个晶片，一个用于将冷却润滑剂供给到切割圆盘上的第一装置，一个用于将净化剂供给到切割圆盘的切割边缘上的第二装置，其中设有一个控制装置，控制装置控制第一装置和第二装置，使冷却操作和净化操作在时间上分开进行，其中，在切割过程中供给冷却润滑剂，而在切割过程之后在通过切割过程从材料上切割下来单个晶片之后，供给净化剂。
申请人：弗赖贝格化合物原料有限公司
地址：德国弗赖贝格
国籍：DE
代理机构：中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：谢志刚
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