专利名称：热式红外线固态成像装置及其制造方法专利类型：发明专利发明人：远山茂
申请号：CN200910130257.8申请日：20090330公开号：CN101545809A公开日：20090930
摘要：本发明提供了一种热式红外线固态成像装置及其制造方法。所述热式红外线固态成像装置用于增强檐部的入射红外线吸收能力，并且能够改善像素的热响应特性。所述热式红外线固态成像装置包括红外线检测器，所述红外线检测器至少具有：基底，所述基底具有用于读出信号的集成电路；隔膜，用于检测通过吸收红外线而导致的温度变化；以及支撑部，用于在所述基底的一侧的表面的上方以其间的隔膜，在所述隔膜和支撑部之间具有空间；并且所述热式红外线固态成像装置包括檐部，其连接到在所述隔膜的外周边附近提供的连接区域，并且在跨越一空间的上方至少覆盖除了所述隔膜之外的部件，并且向所述隔膜传输通过吸收入射红外线而产生的热量。
申请人：日本电气株式会社
地址：日本东京
国籍：JP
代理机构：中原信达知识产权代理有限责任公司
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