硅基液晶器件及其制造方法

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（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN200910198582.8 （22）申请日 2009.11.10

（71）申请人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

地址 201203 上海市浦东新区张江路18号

（10）申请公布号 CN102053431A

（43）申请公布日 2011.05.11

（72）发明人黄河;李卫民

（74）专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司

代理人李丽

（51）Int.CI

G02F1/1362; H01L21/82; H01L27/04;

权利要求说明书说明书幅图

（）发明名称

硅基液晶器件及其制造方法

（57）摘要

一种制造硅基液晶(Liquid Crystal On

Silicon，LCOS)器件的方法，所述方法包括：提供衬底；在所述衬底上形成元件层；在所述元件层上形成层间介质层；图形化所述层间介质层，在层间介质层上形成多个凹陷；在所述凹陷内形成衬里；在所述衬里上形成金属层；平坦化所述

金属层；在所述金属层上形成保护层。所述方法简化了制造过程。

法律状态

法律状态公告日

2011-05-11 2011-06-29 2012-12-05 2013-12-18

法律状态信息

公开

实质审查的生效

专利申请权、专利权的转移发明专利申请公布后的驳回

法律状态

公开

实质审查的生效

专利申请权、专利权的转移发明专利申请公布后的驳回

权利要求说明书

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说明书

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