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激光直写双面曝光装置

来源：好走旅游网

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）实用新型专利

（21）申请号 CN2016209865.8 （22）申请日 2016.06.08

（71）申请人江苏影速光电技术有限公司

地址 221000 江苏省徐州市邳州市经济开发区华山路

（10）申请公布号 CN206270652U

（43）申请公布日 2017.06.20

（72）发明人茆晓华

（74）专利代理机构徐州市三联专利事务所

代理人周爱芳

（51）Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

（）发明名称

激光直写双面曝光装置

（57）摘要

本实用新型公开一种激光直写双面曝光装

置，包括曝光平台（1）、激光器（2）、光转折器件（3）和二次曲面反射镜（4），激光器（2）、光转折器件（3）和二次曲面反射镜（4）设置在曝光平台（1）的两个侧面，光转折器件（3）位于激光器（2）和二次曲面反射镜（4）的中间位置。激光器发出的光束通过光转折器件打在二次曲面反射镜聚焦最终打在曝光平台的PCB板表面上，光转折器件可以使激光光斑在曝光平

台上上下移动，由于曝光平台的前后移动和光斑的上下移动，激光光束完成二维平面的扫描，曝光简便、高效，大大降低成本，提高曝光质量。

法律状态

法律状态公告日

2017-06-20 2017-06-20 2020-05-01

法律状态信息

授权授权

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

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权利要求说明书

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说明书

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