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一种单晶硅棒切片装置[实用新型专利]

来源:好走旅游网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:一种单晶硅棒切片装置专利类型:实用新型专利发明人:王进,张银鹏

申请号:CN2018212441.7申请日:20181116公开号:CN209350633U公开日:20190906

摘要:本实用新型公开了一种单晶硅棒切片装置,包括底板,所述底板顶部外壁通过螺栓固定有安装架,且安装架顶部外壁焊接有水平放置的工作台,所述工作台顶部外壁开有矩形槽,且矩形槽一侧内壁开有倒角,所述工作台顶部外壁焊接有限位块,且限位块为倒置的L状,所述限位块一侧外壁与矩形槽一侧内壁处于同一平面内,所述底板顶部外壁通过螺栓固定有无盖的切片收集盒。本实用新型当完成切片后,倒角减少了单晶硅片的支撑面积,使得单晶硅片不稳,从而落入矩形槽内被收集,提高了装置收集的便捷性,防护垫对掉落的单晶硅片起到缓冲保护作用,防止其摔坏,倾斜的放置方式使得单晶硅片不易堆积在一起,提高了装置的实用性。

申请人:宇泽(江西)半导体有限公司

地址:336000 江西省宜春市宜春经济技术开发区经发大道

国籍:CN

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