专利名称：试样台专利类型：发明专利发明人：赖李龙
申请号：CN200610116904.6申请日：20060930公开号：CN101153855A公开日：20080402
摘要：一种试样台，应用于聚焦离子束断面分析，包括支撑杆和载物台，所述载物台包括与所述支撑杆连接的第一载物面，其特征在于：所述载物台还至少包括一与所述第一载物面相交的第二载物面。本发明的载物台可用于聚焦离子束断面分析设备中进行倾斜断面的制备。
申请人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
地址：201203 上海市浦东新区张江路18号
国籍：CN
代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司
代理人：逯长明
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