一种单晶硅炉内外导流筒组合件[实用新型专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种单晶硅炉内外导流筒组合件专利类型：实用新型专利发明人：路建华,陈钦强申请号：CN201721341248.X申请日：20171018公开号：CN207944174U公开日：20181009

摘要：本实用新型公开了一种单晶硅炉内外导流筒组合件，包括内导流筒，内导流筒的顶端固定设有内导流筒法兰，内导流筒法兰的表面开设有若干第一销轴孔，内导流孔的底端均匀开设有三个卡槽，内导流筒的外部套设有外导流筒。该种单晶硅炉内外导流筒组合件，通过外导流筒设置的三个卡块和内导流筒设置的三个卡槽之间的卡合固定，使得外导流筒在使用时，由于被内导流筒设置的卡槽固定，使得外导流筒不会直接承受过高的温度，从而避免外导流筒脱落，污染硅料，而正常的导流筒在使用50炉时避免不了会需要更换导流筒，而通过的设置的卡槽结构，和设置的销轴将内外导流筒之间进行固定，在对内外导流筒进行更换时，也非常方便。

申请人：青海日晶光电有限公司

地址：817099 青海省海西蒙古族藏族自治州德令哈江路延伸段以东南山路1号

国籍：CN

代理机构：常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)

代理人：张宇

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