一种耐磨损抗腐蚀且高透明度的镀膜的制作方法[发明专利]

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专利名称：一种耐磨损抗腐蚀且高透明度的镀膜的制作方法专利类型：发明专利发明人：何主亮,罗文麟申请号：CN200610151713.3申请日：20060908公开号：CN101139705A公开日：20080312

摘要：本发明提供一种耐磨损抗腐蚀且透明度高的镀膜的制作方法，包括以下步骤：(a)在反应腔体中引入含有呈气态的硅氧烷类、氧化剂和输送气体的反应源；和(b)对该反应腔体内的阴极板(或称作挂具)应用双极脉冲电压，以使该反应源裂解成等离子体气体并在设置在所述阴极板(或称作挂具)的基材上形成耐磨损抗腐蚀且透明度高的镀膜；其中，所述双极脉冲电压的工作比为从40％至95％。

申请人：深圳成霖洁具股份有限公司

地址：518110 广东省深圳市宝安区观澜镇福民乡悦兴围村

国籍：CN

代理机构：永新专利商标代理有限公司

代理人：于辉

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