专利名称：一种光刻投影物镜系统波像差检测装置专利类型：发明专利
发明人：于长淞,苏东奇,苗二龙,隋永新,杨怀江申请号：CN201410819658.5申请日：20141225公开号：CN104483817A公开日：20150401
摘要：一种光刻投影物镜系统波像差检测装置，该装置包括：光源、照明系统、小孔空间滤波器、分光板、待测投影物镜、球面反射镜、二维光栅、空间滤波器和图像传感器；本发明通过使用级次选择窗口作为空间滤波器使得噪声减小并且测量精度获得改善，并且克服了Talbot距离对图像传感器位置的限制。在光路中加入了球面反射镜，可用于浸没式投影物镜系统波像差的检测，也可用于非浸没式投影物镜系统波像差的检测；可以对投影物镜进行全视场的系统波像差检测，得到36项泽尼克系数表示的波像差；由于采用了剪切干涉仪的光路结构，具有检测精度高，重复性好等优点。
申请人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
地址：130033 吉林省长春市东南湖大路3888号
国籍：CN
代理机构：长春菁华专利商标代理事务所
代理人：张伟
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