一种压力检测装置、支撑机构及传送装置[发明专利]

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专利名称：一种压力检测装置、支撑机构及传送装置专利类型：发明专利

发明人：薛金祥,孙中元,张小磊申请号：CN201610053605.6申请日：20160126公开号：CN105698743A公开日：20160622

摘要：本发明提供了一种压力检测装置、支撑机构及传送装置，该压力检测装置包括：压力感应单元、压力传递单元和压力检测单元，其中，所述压力传递单元将所述压力感应单元感应的压力传递到所述压力检测单元。本发明通过在支撑件上设置压力检测装置，在对样品传送的同时，检测样品对每个支撑机构的压力，从而可以根据每个支撑机构受到的压力大小来判断样品的平整度。

申请人：京东方科技集团股份有限公司

地址：100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

国籍：CN

代理机构：北京路浩知识产权代理有限公司

代理人：李相雨

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