带扩张装置[发明专利]

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专利名称：带扩张装置专利类型：发明专利发明人：服部笃,植木笃申请号：CN2015103433.4申请日：20150623公开号：CN105226018A公开日：20160106

摘要：提供带扩张装置，强力保持扩展带，抑制其以松弛部分为起点从保持面剥离，将粘贴有板状被加工物且外周部安装于环状框架的扩展带扩张后使环状框架内周缘与被加工物外周缘间的扩展带松弛区域收缩，具有：框架保持构件，其保持在开口中借助于扩展带支承沿分割预定线形成分割起点的被加工物或被分割成多个芯片的被加工物的环状框架；卡盘工作台，其隔着扩展带通过保持面吸引保持支承于环状框架的被加工物；扩张构件，其使框架保持构件和卡盘工作台在垂直保持面的方向相对移动扩张扩展带；收缩构件，其对扩展带松弛区域施加外界刺激使其收缩，卡盘工作台的保持面具有：与被加工物对应的被加工物保持区域；围绕被加工物保持区域并吸引扩展带的带保持区域。

申请人：株式会社迪思科

地址：日本东京都

国籍：JP

代理机构：北京三友知识产权代理有限公司

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