陈建国;周六辉
【期刊名称】《微电子技术》 【年(卷),期】2003(031)006
【摘 要】介绍了SPC(统计过程控制)技术的技术流程、应用软件和具体实施方法.详细叙述了SPC技术的核心工具控制图技术及其在微电路生产中的应用. 【总页数】3页(P55-57) 【作 者】陈建国;周六辉
【作者单位】中国兵器工业第214研究所,蚌埠,233042;中国兵器工业第214研究所,蚌埠,233042 【正文语种】中 文 【中图分类】TN305.99 【相关文献】
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