具有单电子晶体管检测器的量子点器件[发明专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：具有单电子晶体管检测器的量子点器件专利类型：发明专利

发明人：H.C.乔治,R.皮拉里塞蒂,N.K.托马斯,J.M.罗伯茨,J.S.

克拉克

申请号：CN201680089743.8申请日：20160930公开号：CN109791943A公开日：20190521

摘要：本文公开了具有单电子晶体管（SET）检测器的量子点器件。在一些实施例中，量子点器件可包含：量子点形成区域；设置在量子点形成区域上的一组栅极，其中该组栅极至少包含第一、第二和第三栅极，间隔物设置在第一栅极和第二栅极的多侧上，其中第一间隔物设置在第一栅极接近于第二栅极的一侧上，并且与第一间隔物物理分离的第二间隔物设置在第二栅极接近于第一栅极的一侧上，并且第三栅极设置在第一栅极和第二栅极之间，并在第一间隔物和第二间隔物之间延伸；以及接近于该组栅极设置在量子点形成区域上的SET。

申请人：英特尔公司

地址：美国加利福尼亚州

国籍：US

代理机构：中国专利代理(香港)有限公司

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