专利名称：一种带有柔性杠杆的MEMS谐振式电荷传感器专利类型：实用新型专利发明人：谢金,赵久烜
申请号：CN201420237034.8申请日：20140509公开号：CN203929902U公开日：20141105
摘要：本实用新型公开了一种带有柔性杠杆的MEMS谐振式电荷传感器。它包括锚点、双端固定音叉谐振单元、驱动电极、感应电极、两个柔性杠杆、电荷输入端，双端固定音叉谐振单元的一端与锚点相连，另一端与两个柔性杠杆相连，所述的柔性杠杆包括相互连接的柔性杠杆支点、柔性杠杆输入端、柔性杠杆输出端，双端固定音叉谐振单元与驱动电极、感应电极相耦合，柔性杠杆与电荷输入端相耦合。采用双端固定音叉作为谐振单元，谐振时的能量损失小；通过柔性杠杆放大由输入电荷引起的静电力，增大谐振频率的改变量，得到较高的分辨率，能够测得微小的电荷量；器件的结构简单，可以在室温环境下工作，易于实现批量生产。
申请人：浙江大学
地址：310027 浙江省杭州市浙大路38号
国籍：CN
代理机构：杭州求是专利事务所有限公司
代理人：张法高
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容