专利名称：具有惰性和活性阳极的电镀系统专利类型：发明专利
发明人：何治安,尚蒂纳特·古艾迪,黄璐丹,安德鲁·詹姆斯·普
福
申请号：CN201980022156.0申请日：20190220公开号：CN111936675A公开日：20201113
摘要：公开了用于控制用于衬底的电化学镀敷设备上的镀敷电解质浓度的方法和电镀系统。惰性阳极(或在需要时可以充当惰性阳极的辅助电极)控制一种或多种电解质成分的浓度。惰性阳极通过进行不产生金属离子的气体释放反应来平衡电镀工艺中电解液金属离子的产生和消耗速率。
申请人：朗姆研究公司
地址：美国加利福尼亚州
国籍：US
代理机构：上海胜康律师事务所
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