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结合液体透镜共焦定位的非球面误差干涉测量方法及系统[发明专利]

来源：好走旅游网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：结合液体透镜共焦定位的非球面误差干涉测量方法

及系统

专利类型：发明专利

发明人：郝群,赵维谦,胡摇,陶鑫,李腾飞申请号：CN201911163939.9申请日：20191122公开号：CN110966958A公开日：20200407

摘要：结合液体透镜共焦定位的非球面误差干涉测量方法及系统，通过将液体透镜L和部分补偿透镜P结合作为共焦透镜，建立结合液体透镜共焦定位的非球面参数误差干涉测量系统，不需要移动液体透镜，避免了在非球面参数误差干涉测量方法中需要通过移动消球差透镜组来确定被测非球面的初始位置，从而能够去除导轨所引入的误差，更加准确地确定被测面和部分补偿透镜的相对位置，进而提高测量非球面的面型参数误差的测量精度，且能够实现非接触、全口径、速度快、精度高的测量，具有无需扫描系统、结构简单的优点。

申请人：北京理工大学

地址：100081 北京市海淀区中关村南大街5号北京理工大学

国籍：CN

代理机构：北京市中闻律师事务所

代理人：冯梦洪

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