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可辐射固化显影的聚胺酯以及含其的辐射可固化显影的光阻组成物[

来源:好走旅游网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:可辐射固化显影的聚胺酯以及含其的辐射可固化显

影的光阻组成物

专利类型:发明专利

发明人:黄伟翔,陈膺仁,张瑞铭,郭俊宏,林弘晓,张立中申请号:CN200710090381.7申请日:20070409公开号:CN101286006A公开日:20081015

摘要:本发明公开了一种可辐射固化显影的聚胺酯,及含此聚胺酯的辐射可固化显影的光阻组成物,该聚胺酯由主链具有羧酸基且具有侧链丙烯酰基,且由下述重复单元(I)、(II)及(III)以无规排列所构成:R为C直链或分支亚烷基、C环状亚烷基、亚苯基、亚联苯基、亚萘基、亚二甲苯基、亚甲苯胺基、-Ph-A-Ph-基(其中A为CH、-NH-或-O-),R’为二价脂族基,其上又可具有一或多个OH取代基,且R”为具有一或多个OH取代基之直链或分支链之C烷基,该聚胺酯以凝胶渗透层析所测定的重量平均分子量在3,000~400,000之间;酸值为5~120mgKOH/g。

申请人:新力美科技股份有限公司

地址:台湾省台北市内湖区瑞光路496号8楼

国籍:CN

代理机构:长沙正奇专利事务所有限责任公司

代理人:何为

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