（12）发明专利申请
（21）申请号 CN200610071559.9 （22）申请日 2006.03.28
（71）申请人 住友电气工业株式会社
地址 日本大阪府
（10）申请公布号 CN1840472A （43）申请公布日 2006.10.04
（72）发明人 目黑贵一;山本喜之;今井贵浩
（74）专利代理机构 中科专利商标代理有限责任公司
代理人 陈平
（51）Int.CI
C01B31/06;
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
金刚石单晶衬底的制造方法和金刚石单晶衬底
（57）摘要
制造金刚石单晶衬底的方法，其中单晶从
作为种衬底的金刚石单晶通过气相合成生长，所述方法包括：制备具有主表面的金刚石单晶种衬底作为种衬底，其中该主表面的沿面取向落在相对于{100}平面或{111}平面不超过8度的倾斜范围内；通过机械加工形成许多不同取向的平面，这些平面的主表面的外周边方向相对于该种衬底一侧的主表面倾斜；然后通过气相合成生长金刚
石单晶。
法律状态
法律状态公告日
2006-10-04 2006-10-04 2007-11-21 2007-11-21 2012-03-21 2012-03-21 2020-03-17
法律状态信息
公开 公开
实质审查的生效 实质审查的生效 授权 授权 专利权的终止
法律状态
公开 公开
实质审查的生效 实质审查的生效 授权 授权 专利权的终止
权利要求说明书
金刚石单晶衬底的制造方法和金刚石单晶衬底的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
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