一种三轴全自动机械手臂机构[实用新型专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种三轴全自动机械手臂机构专利类型：实用新型专利发明人：赵晗,江献茂,简建至申请号：CN201721263405.X申请日：20170928公开号：CN207359068U公开日：20180515

摘要：本实用新型涉及一种三轴全自动机械手臂机构，包括左右运动机构、上下运动机构、夹持机构、花篮及载具、Cassette侦测部件，花篮及载具连接在夹持机构上,夹持机构连接在上下运动机构上,上下运动机构连接在左右运动机构上，左右运动机构顶部安装有Cassette侦测部件，Cassette侦测部件用于对花篮及载具的夹取状况及放置位置进行检测，花篮及载具在左右运动机构、上下运动机构、夹持机构的作用下沿左右X轴、上下Y轴、旋转夹取Z轴三个方向运动；本实用新型同现有技术相比，能够避免因空夹或夹取不到位引起的晶舟翻转/过制程/叠货或破片情况，有效的改善了湿制程设备中机械臂的洁净度、安全性、稳定性及可靠性。

申请人：冠礼控制科技(上海)有限公司

地址：200131 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区富特西一路333号长城大楼第一层A1-2部位

国籍：CN

代理机构：上海精晟知识产权代理有限公司

代理人：杨军

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