一种金属掺杂非晶碳薄膜温度传感元件及其制备方法[发明专利]

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专利名称：一种金属掺杂非晶碳薄膜温度传感元件及其制备方

法

专利类型：发明专利

发明人：汪爱英,郭鹏,柯培玲,张栋,陈仁德,郑贺申请号：CN201510604847.5申请日：20150921公开号：CN105241569A公开日：20160113

摘要：本发明提供了一种金属掺杂非晶碳薄膜温度传感元件。该温度传感元件由基体、金属掺杂非晶碳薄膜、电极组成，金属掺杂非晶碳薄膜位于基体表面，电极位于金属掺杂非晶碳薄膜表面。与现有的温度传感元件相比，该薄膜温度传感元件的TCR值和电阻率可，能够同时具有高TCR值与优异机械性能及摩擦学性能，可以实现温度传感元件在恶劣环境中的应用。

申请人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所

地址：315201 浙江省宁波市镇海区庄市大道519号

国籍：CN

代理机构：北京鸿元知识产权代理有限公司

代理人：单英

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