专利名称：一种石墨烯膜基低频声波探测器专利类型：发明专利
发明人：高超,彭蠡,刘一晗,郭燕申请号：CN201810753777.3申请日：20180710公开号：CN108871547A公开日：20181123
摘要：本发明公开了一种石墨烯膜基低频声波探测器，该探测器以高强石墨烯膜为主要探测器件，经过组装设计，形成由石墨烯/导电基底为两极的电容器。声波震动，引起石墨烯膜的震动，改变石墨烯膜和导电基底之间的距离，进而引起电容变化，产生电流信号。此高强石墨烯经刻蚀制孔、真空过滤成膜、化学还原、固相转移、金属喷涂、中温碳化、绿气氯化、高温石墨化等步骤得到。该薄膜整体为石墨烯结构，片层间有大量层间交联结构。整体薄膜厚度为20‑50nm。此石墨烯膜电导率可控、强度可调，可用作低频声波探测器件。
申请人：杭州高烯科技有限公司,浙江大学
地址：311113 浙江省杭州市余杭区良渚街道七贤桥村(8幢)1楼北侧
国籍：CN
代理机构：杭州求是专利事务所有限公司
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